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供应SS-T系列中频交流磁控溅射电源

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    SS-T系列中频交流磁控溅射电源技术规格

   SS-T系列中频磁控溅射电源工作于二级高频变换模式,交流正弦输出。电源输出频率设为典型的40KHZ。中频溅射电源以两个溅射靶作为负载,两个靶交替工作,因此溅射靶一个溅射周期内一半以上的时间为反向电压截止溅射,使靶材表面积累电荷有的到充分泄放时,有利于抑制靶材弧光放电及表面中毒,特别适用于反应膜层环境使用。

电源功率范围 10-120KW

输入电源 AC380V三相四线制50-60HZ±10%

输出方式 交流正弦波

输出频率 40KHz

输出电压 空载1000V[有效值]

灭弧时间 ≤3uS

输出电流稳定率 0.25%

冷却方式 2-10KW风冷 10-120KW水冷

使用环境 环境温度 0-40℃

环境湿度 相对湿度≤85%

空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃性气体 通风良好

冷却水 清洁 不含矿物质及其他可溶性物质

水温 20-30℃

压力 0.15±0.05Mpa

说明:电源的输出特性可根据使用需要作相应调整

 
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